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THERMAL NIL 纳米热压印机

 占地小、操作简便
 可实现高质量的图形复制
 可实现纳米热压设备的一切功能，而无需昂贵的工艺设备。

典型应用
 在硅片上制作纳米级光栅
 压印易碎的材料（例如III-V族材料）
 微结构加工
 制作压印印章
 保护母版的适用寿命
 热压高深宽比结构图形

主要性能
 可加工4英寸以下任意尺寸衬底
 拥有专利技术的卡盘设计，可保证快速升温、降温并保持良好的温度均匀性。